真空镀膜（PVD）生产工艺和质量控制要点
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1、真空：按现代物理的观点，真空不空，其中包含着极为丰富的物理内容。一种说法是：当容器中的压力低于大气压力时,把低于大气压力的部分叫做真空，而容器内的压力叫绝对压力。另一种说法是：凡压力比大气压力低的容器里的空间都称做真空。真空有程度上的区别：当容器内没有压力即绝对压力等于零时，叫做完全真空，其余叫做不完全真空。2、真空度：真空度顾名思义就是真空的程度。在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。
常用的真空度单位有Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。近似换算关系如下：
1MPa=1000KPa
1KPa=1000Pa
1大气压=100KPa=0.1MPa
1大气压=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg
1大气压=14.5PSI
1KPa=10mbar
1bar=1000mbar
