请教老师们，双层管式炉结构有什么特点啊?
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它是三温区的双层石英管式炉，顾名思义嘛，采用的是双层结构，在二层之间有间隙。在这个间隙里呢，可以采用化学气相沉积的方法在金属箔上生长薄膜。之前我们研究所里用的是沈阳科晶自动化设备有限公司的这款产品，最高工作温度是1200°C，双层管结构允许冷却气体强制通过内管内部而达到快速冷却的效果，很优质来的。
