专利名称：气雾生成装置专利类型：发明专利发明人：泷川胜,大野隆史申请号：CN200410007339.0申请日：20040301公开号：CN1524626A公开日：20040901
摘要：本发明提供一种气雾生成装置，不需要随着对喷射器的气体供给压力的改变，而对运载气体喷出口的运载气体供给压力进行复杂调节，并可进行小径钻头等的最少量润滑(MQL)加工。该气雾生成装置，包括接受来自气体供给源的气体和容器内液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、将容器内的气雾从容器导出的导管，以及与导管连通的运载气体喷出口，其特征在于，它还包括在从气体供给源向喷射器供给气体的气体供给通路上设置的第1压力控制装置，以及第2压力控制装置，第2压力控制装置设置在从气体供给源向运载气体喷出口供给运载气体的运载气体供给通路上，将二次侧压力控制成将第1压力控制装置的二次侧压力以一定比例减压后的压力。
申请人：株式会社荏原制作所
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：胡建新
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